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XRD (X線回折)

Analytical Resolution versus Detection Limit

XRDの原理及び特徴

結晶試料中にX線が入射すると、特定の方向に強くX線が回折される現象が生じます。図のような格子面からの回折を考えた場合、A面で回折されたX線とB面で回折されたX線の光路差は2d sinθとなります。この値が、X線の波長の整数倍であった場合、回折X線の位相がそろい強い強度のX線が検出されることになります。

図

X線回折測定では、ブラッグの回折条件を満たし回折されたX線を調べることにより、以下のようなことが行えます。

  • 不明物質の同定
  • 結晶子サイズの決定
  • 結晶方位評価(配向性評価)
  • 結晶化度測定
  • 応力評価(圧縮、引っ張り)
  • エピ材料における高分解能XRDによる格子緩和、格子ひずみの評価

分析例

図

TiN薄膜の結晶子サイズのシミュレーション結果

図
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