表面分析受託サービス

ホーム表面分析受託サービス > 不純物分析:TOF-SIMS (飛行時間型二次イオン質量分析)

TOF-SIMS (飛行時間型二次イオン質量分析)

Analytical Resolution versus Detection Limit

特徴

非常に表面に敏感な手法であり、全元素同時測定。分子の情報を優れた感度で提供可能。

定量分析 検出感度 化学結合状態 破壊測定 空間分解能/ビーム径 深さ分解能
一部、可能 1E7-1E11at/cm2 可能 基本的には非破壊 0.2μm 1-5 単原子層

主な応用例

  • 有機・無機材料の表面特徴の測定
  • 表面に存在している物質の面内分布測
  • 汚染の定性 ( < ppm)
     ・元素
     ・分子
  • 欠陥・不良測定
     ・粘着性
     ・接着面
     ・コーティング
  • 洗浄工程の評価 (QA/QC)
  • しみ、変色、曇りの特定

SIMSの定義(分析モード)

飛行時間型SIMS: 基本原理

飛行時間型SIMS: 基本原理の図

典型的データ (シリコンウエハの場合)

典型的データ (シリコンウエハの場合)のグラフ

典型的データ

■ シリコンウエハ – 高質量分解能
シリコンウエハ – 高質量分解能のグラフ

典型的データ(PET)

典型的データ(PET)のグラフ

典型的データ(データ取得方法)

■ アルミナ-ジルコニア-シリカ材料のTOF-SIMSイメージング(2つのモード)
アルミナ-ジルコニア-シリカ材料のTOF-SIMSイメージング(2つのモード)の図

特長と制約

TOF-SIMSは優れた感度であると同時に最表面に敏感に、全元素及び分子の測定ができる手法である。

■ 特長
  • 非常に薄い(単原子層以下)有機膜や汚染の元素や分子情報を得られる
  • 定性測定
  • ppm レベルの検出下限
  • 微小領域測定 (0.2 mm)が可能で、かつマッピング測定が可能
  • 絶縁物、導電物質両方の測定
■ 制約
  • 場合により、決定できない有機情報がある。
  • 試料が真空に導入される。(超高真空内での測定)
  • 時に、表面に敏感すぎる。(表面より下の情報が不鮮明になる)

応用例1)フラットパネル TFT上の残渣

人毛トリートメント剤の分析

目的:人毛中に化学処理剤がどの程度浸透しているかと知る。

実験:●人毛を化合物に浸す。  ●髪の毛の断面作製  ●TOF-SIMSによるイメージング測定

化合物:- Quaternary amine or QAS (dimethyldidodecyl-ammonium bromide)

Pagetop
お問い合わせ方法
Copyrights (C) 2016 Nano Science Corporation. All Rights Reserved.プライバシーポリシー