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TEM-EDS (透過型電子顕微鏡)

Analytical Resolution versus Detection Limit

TEM/STEM

定量分析 検出感度 化学結合状態 破壊測定 空間分解能/ビーム径 深さ分解能
No N/A No Yes (Sample Prep) 0.1~0.3 nm(TEM)  0.6~1.5 nm(STEM) N/A

特徴

  • ナノスケールレベルの分解能で構造・形態観察
  • 元素像の高分解能マッピング
  • 格子像観察
  • Zコントラスト像観察

主な応用例

  • III-V・GaN系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
  • Si系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
  • その他各種固体材料の形態・構造観察
  • 燃料電池触媒の観察
  • 有機EL素子等、有機デバイスの構造評価

TEMの原理(結像モード)

TEMの原理(結像モード)の図

断面TEM観察(W/Poly-Siコンタクト)

断面TEM観察(W/Poly-Siコンタクト)画像
■ EDS分析
EDS分析のグラフ

平面TEM: Al膜のグレインサイズの観察

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