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SEM-EDS (走査型電子顕微鏡)

Analytical Resolution versus Detection Limit

SEM 試料の表面形態を高倍率で観察可能

定量分析 検出感度 化学結合状態 破壊測定 空間分解能/ビーム径 深さ分解能
測長 N/A No 非破壊 1 nm N/A

一般的な装置概略図

一般的な装置概略図

電子線と固体の相互作用

電子線と固体の相互作用図

インレンズ型FE-SEM

■ 装置概略図
装置概略図

被写界深度 の高い分析

■ 表面構造観察
表面構造観察画像

ArイオンミリングによるCuの観察

■ 広い領域での、グレイン構造の顕在化
広い領域での、グレイン構造の顕在化画像

Arイオンミリングによるバリア層の観察

■ 選択エッチングによる層層構造の顕在化

微粒子膜の観察例

微粒子膜の観察例画像
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