表面分析受託サービス

ホーム表面分析受託サービス > 組織分析:μFTIR(フーリエ変換赤外分光分析)

μFTIR (フーリエ変換赤外分光分析)

Analytical Resolution versus Detection Limit

FTIR と Raman 分光分析は不明な有機材料の特定に適した手法である。

定量分析 検出感度 化学結合状態 破壊測定 空間分解能/ビーム径 深さ分解能
可能 0.1-1wt%(FT-IR) 可能 非破壊 >15μm(FTIR) 0.1-1μm(FTIR)

振動スペクトル法

振動スペクトル法
■ FTIR
  • 広周波数赤外光
  • 赤外光の吸収を測定
  • 吸収スペクトルはIR活性の振動に依存
■ Raman
  • 単色化された可視光レーザー (e.g., HeNe or Ar+)
  • ラマン発光(分子振動が励起されて生じる発光)を測定
  • ラマンスペクトルはラマン活性の振動に依存

応用例

■ FTIR と Raman
  • 有機物系粒子、パウダー、膜、液体の同定
  • 材料の同定
  • 不純物分析 (抽出物, 脱ガスした製品(物質), 残留物)
■ FTIR
  • Si中のO及びHの定量
  • SiNウエハ中の水素の定量 (Si-H vs. N-H)

FTIR 典型的なデータ

グラフ グラフ

典型的なデータ・FTIRとRamanの補完的な関係

グラフ

特長と制約

■ 特長
  • 有機物官能基や特定有機化合物の特定が可能
  • 化合物同定のためのスペクトルのライブラリーが豊富 (特に、IRのライブラリは広範囲材料に及ぶ)
  • 大気環境で測定可能 (真空環境は必要ではない; 揮発性化合物には適している。)
  • ・高真空環境から高圧環境まであらゆる環境で測定が可能(装置に依存)
  • ・低温~常温~高温までの広い領域で測定可能(装置に依存)
  • 通常、非破壊
  • 最小分析領域: ~15 mm
■ 制約
  • 表面敏感性は低い (通常のサンプリング深さ: ~0.8 mm)
  • 最小分析領域: IRの場合: ~15 mm
  • 混合物質(ブレンドポリマーなど)は測定が複雑で、解析が困難
  • 通常は定量情報ではなく、定性測定 (定量にはスタンダードが必要)

用途の広い測定手法であり、幅広い材料の解析に応用できる。
有機物化合物の同定には最適な手法である。

応用例1)FTIR・レーザー用レンズの曇り

グラフ

応用例2)FTIR・Si3N4 中のSi-H や N-H結合

FTIR では、窒化シリコン膜中の Si-H and N-Hを判別できる。

グラフ
Pagetop
お問い合わせ方法
Copyrights (C) 2016 Nano Science Corporation. All Rights Reserved.プライバシーポリシー