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3D-APT(3次元アトムプローブ)

Analytical Resolution versus Detection Limit
定量分析 検出感度 化学結合状態 破壊測定 空間分解能/ビーム径 深さ分解能
No

10ppm (1018atoms/cm3)

No Yes 0.5nm 0.3nm

特徴

  • 原子の1次元(1D)、2次元(2D)、3次元(3D)の分布情報分析が可能。
  • 水素を含む全元素の検出が可能。
  • 同位体の測定も可能。
  • 測定できる範囲:~100nmx100nm x 700nm
  • 界面での組成偏析や界面ラフネス測定が可能。

主な応用例

  • 半導体材料・デバイス中のドーパント微細分布や偏析
  • 触媒中の組成分布

3DAPT用試料加工例

3DAPT用試料加工例

応用例1:LEDエピタキシャル膜構造

応用例1:LEDエピタキシャル膜構造

応用例2:Mg注入GaN のMg偏析分布

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