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分析会社詳細:EAG社

EAG社(Evans Analytical Group):エバンスアナリティカルグループ

EAG Inc.

1978年に、前身のチャールス・エバンス・アンド・アソシエイツ社がスタートして以来、順調に業績を伸ばし、世界における表面分析のリーディングカンパニーとして表面分析手法の開発や研究にも幅広く活躍しており、各分野より高い評価を得ております。

2005年に、エバンス・アナリティカル・グループとして活躍の場を広げるべく米国内の関連会社エバンス・イースト社、エバンス・ノースイースト社などをその傘下に加え再スタートを切りました。業務開始初期からGaAsを初めとする半導体材料の定量分析手法の開発を行ってきており、現在ではほとんどの半導体材料における定量分析を可能にしています。

2007年にはGDMS分析のShiva Technologies社及びTEM分析のAMER社をその傘下に加え、米国を中心としてヨーロッパ、アジア、日本のネットワーク網も更に充実させ、よりワールドワイドな分析サービスを展開し続けてまいります。

エバンスアナリティカルグループ記載世界地図

主要ラボ紹介

■ カリフォルニアラボ(EAG-CA)

シリコンバレーの中心部であるサニーベール市に位置し本社機能を兼ね備えたカリフォルニアラボは、EAG全体の前身会社でもあるチャールズエバンス&アソシエイツ(CEA)が基礎となっています。

ここでは、SIMS、TOF-SIMS、RBS、AES(FE-AESも含む)、XPS(μ-XPSも含む)、TXRF(200mmウエハ対応まで)、SEM、FIB、Raman、FT-IR、GC-MS、SPM/AFM、TEM等EAGで対応可能な手法の殆どを備えています。また、分析対象材料は、半導体・電子材料のみならず、有機材料・高分子材料・医薬材料など多岐にわたります。

ほとんどの手法で複数装置を保有して材料ごとに装置の使い分けを行い、高感度の維持や短納期に対応しています。 一番得意とするSIMSでは、25台以上の装置を持ち、他に類を見ないほどの標準試料を保有する事で多くの材料への定量分析に対応します。 またTOF-SIMS分析では、表面分析サービスの先駆者として経験も豊富で多くのデータベースを保有しています。

■ ニュージャージーラボ(EAG-NJ)

前身をEvans Eastとしておりましたニュージャージーラボは、Dr. C. W. Mageeを中心として半導体材料のSIMS分析を主体として発展してきました。
SIMSはQ-pole-SIMS装置を専門として行なっており、Q-pole-SIMS装置の持つ欠点を良く理解し、それらを逆手にとって分析手法を開発して独自の方法を生み出すことが出来る挑戦者集団でもあります。
独自で開発してきたPCOR-SIMS法は、SIMSの常識を打ち破り、組成分析、膜厚補正、不純物定量を同時分析できる画期的手法です。ウルトラシャローBプロファイルにとどまることなく応用できる材料を現在も増やしつつあります。 現在、SIMS;10台、TOF-SIMS、XPS;2台、AES、SEMなどを稼働しております。

■ ニューヨークラボ・フランスラボ(EAG-NY, EAG-France)

2007年よりEAGの傘下に加わりましたニューヨークラボ及びフランスラボは、GDMS(グロー放電質量分析法)で知られておりましたShiva Technologies社(以下Shiva社)が前身となります。
Shiva社は、1990年にGDMS分析の専門会社として米国ニューヨーク州に設立されました。現在では、米国内のGDMS分析の殆どを手掛けています。1995年には、ヨーロッパ向けの専門ラボとしてフランスにShiva Europe社を新たに設立しました。 ニューヨークラボでは11台、フランスラボでは5台のGDMS専用装置を保有し、材料ごとに区分して使用しています。
米国・ヨーロッパを中心とした世界各国で高い評価を受け、NIST(米)やAluminum Pechiney(EU)等の国際的機関と分析技術の共同研究に取り組み、リーディングカンパニーとして世界のGDMS分析を牽引しています。

■ ノースカロライナラボ(EAG-NC)

ノースカロライナラボは、2006年12月よりEvans Analytical Groupの傘下に加わりました。前身は「MAS:the semiconductor & microelectronics services operations of Materials Analytical Services」であり、TEM、STEM、SEM、FIBを専門とした技術者集団です。
独自に改良したFIB装置を所有し、またTEM、STEM用の試料作成には欠かせないリフトアウト用プローブ、観察用グリッドを内製する等、お客様のニーズにお答えできる環境の整備を始め、化合物半導体デバイスにおける、STEM中でのEBICイメージ評価を行う等、大学と連体した技術開発にも積極的に取り組んでおります。

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