表面分析受託サービス

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分析手法別アプリケーション一覧

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不純物分析(定量、定性、面内分布、キャリア濃度、汚染、有機物など)

■ SIMS (二次イオン質量分析)
■ TOF-SIMS (飛行時間型二次イオン質量分析)
■ GDMS (グロー放電質量分析)
■ ICP-OES (誘導結合プラズマ発光分析) , ICP/MS (誘導結合質量分析)
■ TXRF(全反射蛍光X線分析)
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組成分析(組成、膜厚、密度、結合状態、微小異物、マッピングなど)

■ RBS/HFS/NRA/PIXE(ラザフォード後方散乱分析/水素前方散乱分析/粒子励起X線分析/核反応分析)
■ AES, Wafer AES (オージェ電子分光分析)
■ XPS/ESCA (X線光電子分光分析)
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形態観察/構造解析 (形状、膜厚、構造、欠陥観察、結晶性、結合状態など)

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その他分析手法

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