標準試料販売

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表面分析に必要な各種標準試料を販売しています。

各種SIMS標準試料の販売及びイオン注入サービス

米国EAG社

Si, SiO2, SiN, Wsi, TiN, TiW, Al, GaAs, InP 基板への各種元素イオン注入した試料(各試料には、SIMS 及び RBS 分析データを添付)を販売しています。
また、特別注文のイオン注入試料作成も承ります。

仕様

その他の各種標準試料の販売

米国 Geller 社

価格表
■ ESCA,AES,EPMA用スタンダード(UHV STANDARDS)

Al, Be, B, Cd, Cr, Co, C, Cu, Ge, Au, In, Ir, Fe, Pb, Mn, Mo, Mg, Ni, Nb, Pd, Pt, Rh, Si, SiO2, Ag, Te, Th, Sn, Ti, W, V, Y, Zn, Zr, Re, Cs 他

仕様
■ イオン・スパッタリング用スタンダード

SiO2膜,SiN膜,Ta2O5膜,Cr/Ni多層膜など

仕様
■ 顕微鏡用倍率補正スタンダード
MRS-3仕様MRS-3-ITO仕様MRS-4仕様MRS-6仕様
MR-1仕様
■ 真空容器VUS-J

VUS-Jシリーズ(ガラス製)、VUS-SSシリーズ(ステンレス製)

仕様
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