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顕微鏡用倍率補正スタンダード MRS-6仕様

倍率2,500倍~1,000,000倍に対応。

画像
■ パターン構成
Pattern ピッチ間隔 (線と隙間部分の幅)
巣状Box 2μm 1μm 500nm 200nm
(4個)
100nm
(4個)
80nm
(4個)
3バーパターン 3μm 2μm 1μm 1.5μm 1μm 900nm
800nm 700nm 600nm 500nm 400nm 300nm
200nm 100nm 80nm      
■ 仕様
  • サイズ:23.2mm x 3.2mm x 0.5mm厚
  • 材質:Si単結晶基板上に15nmCr膜パターン
  • 完全導電性:コーティングの不要
  • ピッチ定義:線とスペースを合わせた距離
  • 2種類のMRS-6(トレーサブル品(MRS-6XY、データ付)/ノントレーサブル品(MRS-6NT、データ無))
  • NIST及びNPLによって校正
  • 各ピッチ精度:±3nm(2σ)
■ 各種用途
  • 電子顕微鏡:SEM(二次・反射電子),TEM(バルク)
  • SMP:STM, AFM, 触針・光学表面形状計測
  • 光学顕微鏡:反射、明視野・案視野、位相コントラスト、共焦点
  • 化学マッピング:EDS, WDS, XRF, XPS, AES他。
  • 分解能テスト:3バーパターンを使用、USAF1953に類似。
  • 線形性テスト:複数サイズのピッチパターンを利用
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