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顕微鏡用倍率補正スタンダード MRS-4仕様

MSR-3
スケール仕様
  • 最密ピッチ
    パターン
0.5μm、1μm、2μm、50μm、500μm
精度 ± 0.25μm(500μmピッチ
± 0.1μm(50μm、2μmピッチ)
± 0.04μm(1μm、0.5μmピッチ)
パターン高さ 0.1μm
外 形 9.0x9.0x2.3mm(サイズの変更も可能)
適用倍率 10倍~200,000倍
適用顕微鏡 SEM(二次電子像、反射電子像), TEM(反射電子像)、AFM, STM、触針段差計、光学顕微鏡
適用補正 ディストーションの補正
ティルトアングルの補正
CRTとレンズ焦点補正
基板 石英ガラス上にCr(70nm)/CrO2(30nm)の膜パターンニング
校正書
(MRS-4XYの場合)
NPL、NISTによって校正されたマスター試料(標準試料)を用いて、500μm50μm、2μm、1μm、0.5μmピッチパターンの測定データを提供。

詳細パターン例

詳細パターン例の画像
■ MRS-4、各パターンの位置

ピッチとは、「ライン+スペース」の合計を表す。

各パターンの位置説明画像

校正書例と説明

校正書例と説明の画像

2μmピッチパターン配置と測定方法

2μmピッチパターン配置と測定方法の画像

測定は最外ラインの内側から始めて、(スペース+次のライン幅)=1ピッチとみなし、内側に向かって8ピッチ測定します。 それらを左、右、上、下それぞれで測定します。

2μmピッチパターン配置と測定方法の画像

50μmピッチパターン内部に3つ配置されています。

リテーナーにマウントされた状態

■ SEM用リテーナー:MRS SEM/R
SEM用リテーナー画像
  • リテーナーサイズ:25mm径x3mm厚
  • 中心部の9mm角のくぼみに、MRS(9mm角)が固定されています。
  • 特注サイズのリテーナー作製可能。(別途見積り)
■ 光学顕微鏡用リテーナー:MRS OMR(特注)
光学顕微鏡用リテーナー画像
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