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米国EAG社
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各種SIMS標準試料の販売及び イオン注入サービス

仕様:Si Ion Implant Reference Materials

■ Basic Single Element Implants
Species Nominal Energy (keV) Nominal Dose (at/cm2)
1H 30 2x1015
7Li 50 1x1014
11B 80 1x1014
12C 100 1x1015
14N 80 1x1015
18O 100 1x1014
19F 100 5X1014
23Na 150 1x1014
24Mg 150 1x1014
27Al 150 1x1014
31P 150 1x1014
34S 150 1x1014
35Cl 200 2x1014
39K 200 1x10
40Ar 200 5x1015
40Ca 200 1x1014
48Ti 150 5x1014
52Cr 200 2x1014
54Fe 200 1x1014
55Mn 200 1x1014
59Co 200 1x1014
60Ni 200 2x1014
65Cu 200 1x1014
64Zn 200 1x1014
69Ga 250 1x1014
70Ge 160 5x1014
75As 80 1x1014
79Br 250 1x1014
98Mo 200 1x1014
106Pd 200 2x1014
107Ag 200 2x1014
115In 300 1x1014
120Sn 300 1x1014
121Sb 200 6x1014
181Ta 300 2x1014
184W 200 1x1014
195Pt 400 1x1014
197Au 200 1x1014

Si ion implant reference materials are 1.6 cm x 1.6 cm or 1.8 cm x 1.8 cm

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