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封止パッケージの気密性試験

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Kr85リーク試験について

Kr-85ガス圧入容器Kr85リーク試験法は、高信頼性デバイス内のファイン及びグロスリークレートを測定するために使用される高感度の試験法です。この試験法は1950年代に開発され、現在でもハイブリッドデバイス、センサー、医療移植片、SiベースのMEMSといったパッケージに用いられています。Kr85リーク試験は、極めて分析時間が短く、かつ微小リーク(<10-12 atm cc /sec Air limits) を検出でき、リークサイトの同定も可能であることが特徴です。デバイス(試験サンプル)は特別なチャンバーに入れられ、僅かなKr85ガスと窒素の混合ガスをチャンバーの中に導入後、加圧されます。

放射線測定装置この印加の圧力と加圧時間は、測定するサンプルのキャビティーの大きさ、測定対象とする気密性(どのオーダーのリークの有無まで調べたいか)により決まります。リークパスがパッケージに存在する場合、この加圧の際にKr-85が浸入します。その後、試料をチャンバーから取り出し、パーッケージ内部に存在するKr-85からの放射線量を測定することにより、リークレートを求めることができます。

また、このKr-85リーク試験は、MIL規格(Mil-Std 750 method 1071 condition G1, G2 ; Mil-Std 883 method 1014 condition B1, B2)に準拠した試験の実施が可能です。

■ Test Methods:
  • Mil-Std 750 method 1071 condition G1, G2
  • Mil-Std 883 method 1014 condition B1, B2
■ Specifications:
  • Radioisotope: Krypton 85 gas
  • Pressurization range. 30-120 psia
  • Minimum detection limit: <1X10-12 atm cc/sec Air
  • Accuracy: +/- 10% of value.
  • Measurement method: Batch Testing or Read and Record
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