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IVA分析/HR-IVA分析 (封止パッケージ(半導体や電子部品)内の水分量、ガス成分分析)

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IVA分析とHR-IVA分析の特長

  IVA分析 HR-IVA分析(高感度IVA分析)
測定可能な元素 水蒸気、窒素、酸素、アルゴン、二酸化炭素、水素、ヘリウム、フッ化炭素、炭化水素(CH)および主要な有機物をppmレベルで検出できる。 (質量範囲:2~150(AMU))
測定可能な内容積 IVA分析: 0.01cc以上 HR-IVA分析: 1nl (=1x10-6cc)以上
(注)1atmの窒素ガスを封入したパッケージで
測定可能な内容積
質量分析計 四重極型 (Q-pole) 飛行時間型 (Time Of Flight (TOF))
検出感度 水蒸気は100ppmv、その他のガス成分は10ppmv以下も検出可能である。
精度 水蒸気:±10%以内(@5,000ppmv)

IVATM分析(Internal Vapor Analysis)について

IVATM分析(Internal Vapor Analysis)は封止されたパッケージデバイス内の水分量(水蒸気)、主成分ガス、残留ガス成分の相対濃度について、質量分析計を用いて定量分析する手法です。この分析手法はMIL規格(MIL-STD-750又は883)に準拠して測定を行なうことが出来ます。

IVATM分析は、広く知られている封止パッケージの残留ガス分析(RGA分析)やMIL規格の内部ガス分析(Internal Gas Analysis)を発展させた分析手法です。

HR-IVATM分析(高感度IVA分析)では、従来のRGA分析では検出できなかった微小封止パッケージ(内容積が1nl(=1x10-6cc)まで)の水分量や内部ガス成分を検出することができます。

IVATM分析のアプリケーション

IVA分析は電子デバイス、光デバイス、MEMS、照明、医療機器、プラスチックバックなど
封止パッケージ内の水分量、封止ガス、残留ガスを分析できます。

分析のアプリケーションの説明図

分析事例1:ガラスフリット封止を行なったセラミックスパッケージの良品と不良品の比較

■ セラミックパッケージ中のIVA分析結果(良品と不良品の比較)

不良品では二酸化炭素(CO2)と水(H2O)が多量に検出されている。

Sample ID 良品(OK) 不良品(NG)
窒素 (%v)
81.0
78.9
酸素 (%v)
17.9
15.6
アルゴン (ppmv)
9,221
9,211
二酸化炭素(ppmv)
0.11
3.67
水(H2O) (ppmv)
541
8,795
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