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XRDはこんな用途に便利な手法です-3:ひずみ評価

XRDは、結晶構造を反映した情報を高感度で取得できる手法です。結構構造に何らかの影響で変化があった場合には、それを敏感に検知できます。たとえば、ある物質中に、他の原子が入り込み、それが格子位置に置換されることにより、結晶格子が伸び縮みした場合、その変化量を調べることにより、もとの結晶構造からどの程度歪んだかを調べることが可能です。また、材料によっては、入り込んだ原子の濃度を算出することも可能です。

SiGeの濃度が変わった場合の評価事例

6%と10%の差異が検知可能であることがわかります。参考データは、SiGeの濃度評価の事例ですが、他の化合物半導体の組成を調べることや、異なるプロセスで成膜した材料の内部ひずみを試料間で比較することなどもこの手法で可能です。

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