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XRDはこんな用途に便利な手法です-2:結晶子サイズ

粒子サイズを評価出来る手法としまして、FIB-SIM,SEM,EBSD,TEMなど種々の評価法があります。XRDで見ている結晶子サイズとこれらの観察手法におけるグレインサイズは厳密に言いますと異なりますが、ここでは類似のものとして取り扱わせていただきます。

XRDでは、結晶子が小さい場合は半値幅が広くなることを利用し、結晶子サイズの評価を行うことができます。ただ、XRDの結晶子サイズの評価では制限があり、おおむね数nm~100nm程度のサイズのものには適用可能ですが、それ以上大きいものの場合は半値幅の変化がほとんど表れないため、良い結果は期待できません。

以下に、結晶子サイズが変わった場合のXRDの回折ピークの変化のシミュレーションおよびXRDと他手法の比較の表を示します。

グラフ
  SEM TEM EBSD XRD
グレインサイズ 数10nm~数百um nm〜数um 100nm~数10um 数nm~100nm程度
配向性評価 X
格子定数 X X
双晶の評価 X X
ひずみ評価 X
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