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TEMで観察できる結晶欠陥の種類

TEMは結晶中の欠陥の評価にも多く使われていますが、全ての欠陥がTEMで観察できるわけではありません。例えば、点欠陥のような欠陥はTEMでは観察できません。これはTEMが一つ一つの原子そのものを見ているわけではないことに関係しています。

■ 欠陥の種類とTEMでの観察の可否
欠陥の種類 TEMで見えるか否か,補足
点欠陥 見えない
線欠陥(転位) 見える
刃状転位、らせん転位など
面欠陥 見える
積層欠陥など
体積欠陥 見える(ボイド、析出物等)
GaN中線欠陥
(転位)
Si中面欠陥
(積層欠陥)
CIGS中体積欠陥
(ボイド)
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