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300mmウエハ表面の微小異物分析ができます

EAG所有のAES分析装置は、300mmウエハをそのまま装置内に導入し、分析することが可能です。また、異物検査装置で測定した座標データを基に、AES分析装置と座標リンクを行うことで、特定の異物について分析を行うことも出来ます。

微小な異物の解析には、取り扱いが簡便である、SEM+EDSによる分析が使われておりますが、以前に分析豆知識 『AES分析とEDS分析の使い分け』でご紹介しましたように、EDSで微小な異物を分析した場合、下地の情報を多く含んでしまいますので、AES分析の方が適しております。

■ 300mmウエハAES装置
300mmウエハAES装置画像
■ 特定座標の異物分析事例

下図は、ウエハナビゲーションシステムを用いて、異物検査装置で検出された特定座標の異物を分析したデータです。EDS分析ではSiとOのみが検出されております。一方、スパッタ前後のAES分析を行うことで、異物は、Fe、Crが核となり周辺がSi酸化膜で覆われていることが分かりました。このように、異物の由来を調べることで、汚染工程や汚染源の特定により活用できます。

特定座標の異物分析事例説明図
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