産業別分析事例紹介

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照明・LED

イメージ画像EAG Inc.は、研究開発やLED 製造工程で発生した問題について分析支援を行う世界有数の分析センターです。極薄膜や厚膜から構成されるエピタキシャル層の材料組成、ドーパント、汚染不純物、欠陥などのキャラクタリゼーションのエキスパートです。分析評価は製造コストの削減やロット間バラツキなどの改善への近道です。

主な分析サービス内容

  • イメージ画像膜厚、密度の評価
  • ウエハ面内の膜厚分布測定
  • エピタキシャル層の応力
  • 結晶方位
  • AlGaInP、GaNエピ層中のドーパント及び汚染不純物の深さ方向分析
  • AlInGaP、AlGaN膜の膜厚、組成分析
  • MOCVDで作成したエピタキシャル層中のH, C, Oの高感度検出
  • AlInGaP, InGaN超格子における結晶性の評価
  • LEDチップの断面構造観察
  • 他社製品調査
  • 故障解析
  • LED構造試料における有機、無機汚染元素の特定
  • 半導体上に形成された金属積層膜の密着性の問題解決

関連資料A

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関連資料B

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