表面分析からこんなことがわかります

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はじめに

急速なLEDの発展に伴い、LEDデバイスに対する要求も厳しくなってきています。これまでの研究により、貫通転位の種類が、デバイスのIQEに強く影響することがわかっているため、効率よくまた迅速に転位の種別を決定することが必要となってきています。以下のページにその事例をご紹介しておりますので、ご覧いただければ幸いです。

STEMを用いたGaN中の転位種別評価(AN463)

従来、各種材料の転位評価は、断面試料を用いて一般的なTEM分析により行われていました。しかしながらTEM観察においては、Fig1の図にあるように、厚さの違いによる干渉縞や、湾曲によって生じる干渉縞が見られることが多々あり、それが解析を複雑にすることがありました。Fig1に対応するSTEM像をfig2に示します。両者を比較する、STEM像においては、極めてシンプルに転位のコントラストが確認できることがわかります。また、同時に転位の種別情報の取得も可能です。

図

特定の試料傾斜を用いることにより、断面観察における貫通転位を、刃状転位、らせん転位、混合転位といった形に分類することが可能です。Fig3は、刃状転位(e)を際立たせた方位での観察例であり、一方Fig4は、らせん転位(s)を強調する方位で観察した例です。Fig3およびFig4の両方で強調され観察されている転位は、刃状転位とらせん転位の両方の成分をもつ混合転位(m)と考えられます。

図
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