表面分析からこんなことがわかります

ホーム表面分析からこんなことがわかります > SIMSによるSi結晶中の超高感度バルク濃度分析

はじめに

Si系デバイスによっては、重金属不純物の低減に加えて、結晶欠陥制御を目的とした炭素、窒素、酸素濃度の低濃度管理が必要とされています。このようなニーズに対して、SIMSを用いた更なる高感度分析のためには、測定対象元素の検出下限値を決める要因を整理・対策すること、材料中の不純物濃度分布が均一である系を想定したバルク濃度分析が有用です。このような測定方法の最適化により、特に軽元素分析の検出感度が向上しました。

SIMSによるSi結晶中の超高感度バルク濃度分析

■ SIMS分析:Si結晶中のバルク濃度分析による検出下限値表

SiGeエピ試料のRBSスペクトル
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