表面分析からこんなことがわかります

ホーム表面分析からこんなことがわかります > EBSD(後方散乱電子回折)による積層セラミックチップコンデンサ

EBSD(後方散乱電子回折)による積層セラミックチップコンデンサ

新技術紹介:EBSD分析「Oxford社製のEBSD検出器を導入しました」

弊社では、Oxford社製の高速高感度CMOS検出器を導入しました。この新しい検出器を使用すると、数十ナノメートルから数十ミリメートルまでの幅広いスケール範囲で結晶微細構造を直接視覚化できます。ローカルな特性評価(スキャン位置の正確なピンダウン)だけでなく、統計情報も生成できます。EBSDデータから抽出されたいくつかの典型的な情報には、粒子サイズ/形状、結晶粒界の相対配向、テクスチャ、すべり面、および相同定が含まれます。

▪︎ 分析事例:積層セラミックチップコンデンサ
分析事例:積層セラミックチップコンデンサ

最新のCMOSテクノロジーの検出器の導入によって、電子線に敏感なサンプルや絶縁体についても詳細な情報を得ることができるようになりました。

▪︎ EBSDフェーズマップ
EBSDフェーズマップ
▪︎ EBSD方位マップ
EBSD方位マップ

新しいツールでは、自動大面積スキャンとステッチ機能を利用できます。ローカルの詳細を犠牲にすることなく、広い領域で連続スキャンを提供できるようになりました。

統合されたEDSおよびEBSDスキャンは、同じ結晶構造で異なる化学的性質を持つ相を区別する機能を提供します。EBSDの結果と相関する化学元素の空間分布は、微細構造の完全なマッピングデータを提供します。

▪︎ セラミック相のテクスチャ分析– IPF (逆極点図)
セラミック相のテクスチャ分析– IPF (逆極点図)
▪︎ 粒度分析
粒度分析

弊社は微細構造のTEM-EBSD(TKD)分析が可能になりました。この手法では、標準的なTEMの前処理が必要であり、非常に優れた空間分解能でEBSDデータをご提供いたします。前方散乱検出器は検出器の前面に配置、原子番号Zおよび凹凸の情報を含む高コントラスト画像を提供できます。

Pagetop