分析事例紹介:表面分析受託サービス

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EBSD(電子線後方散乱回折法)について

EBSDは、結晶性試料に電子線を照射した際に起こる、電子線の後方散乱回折現象を利用し、試料の結晶情報(結晶系、グレインサイズ、配向性など)が得られる手法です。類似情報を得られる手法として、XRD(X線回折法)がありますが、所定の領域内の個々の粒子の結晶方位まで評価できるのが、この手法の特徴となります。空間分解能はおおよそ数十から100nm程度となります。比較的高い空間分解能で評価可能なため、多結晶薄膜の平均粒径の評価や、配向性の評価等によく利用されます。

EBSDとXRDの比較

  EBSD XRD
グレインサイズ ○(50nm~200um) ○(1nm~200nm程度まで)
配向性評価
格子定数 ×
物質同定
双晶の評価 ×

黄銅の測定結果

黄銅の測定結果

高配向Al膜の分析例

高配向Al膜の分析例
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