分析事例紹介:表面分析受託サービス

ホーム > 分析事例紹介【表面分析受託サービス】:新規導入装置のご紹介 AC(Aberration-Corrected )-STEM

新規導入装置のご紹介 AC(Aberration-Corrected )-STEM

従来のSTEMの場合、対物レンズが球面の凸レンズであるため,レンズ中心付近を通る光線は像面で一点に収束しますが,中心より離れた光線は球面収差によって一点に収束せず,像面で拡がりが生じていました。近年、それまでは難しいとされていた凹型レンズと同様の働きをする装置が開発され、電子線でも収差補正をされた装置が開発されました。簡単な原理を、図1に示します。

AC(Aberration-Corrected )-STEMの説明図

この球面収差補正装置付のSTEMは、従来の装置に比べ、プローブ電流は約1桁高く、また、スポットサイズも小さいため、高分解能、高感度分析が可能になっています。

図2には、高分解能像の例として、従来のSTEM装置と、AC-STEM装置の各々で、GaN系材料のMQW部の拡大観察の例を、また図3には、AC-STEM装置のEDSで半導体デバイスの面分析を行った例を示します。

AC(Aberration-Corrected )-STEMの説明図 AC(Aberration-Corrected )-STEMの説明図

球面収差補正により微小プローブで大きなプローブ電流が得られ、さらに高感度のX線検出器により、高空間分解能・高感度分析が可能です。

Pagetop
お問い合わせ方法
Copyrights (C) 2016 Nano Science Corporation. All Rights Reserved.プライバシーポリシー