TOF-SIMSでは、試料表面から離脱する二次イオンが、化学構造を保った分子状態でイオン化されるため、得られたスペクトルより、試料表面にどのような種類の有機物が存在するかについての知見を得ることが可能です。下のデータは、この手法を用いて、断面より薬剤の浸透状態を評価した例です。
これらの結果により、薬剤は、ポリマー層の表層約20μmまで存在することが確認できました。